桌面臺(tái)式電鏡因其操作簡便、占地小、無需復(fù)雜環(huán)境而廣泛應(yīng)用于材料分析、生物觀察、質(zhì)量檢測和教學(xué)科研。為確保
桌面臺(tái)式電鏡成像質(zhì)量、延長壽命并保障操作安全,必須遵循規(guī)范的使用流程。以下是標(biāo)準(zhǔn)操作步驟。

一、使用前準(zhǔn)備
環(huán)境檢查:確保設(shè)備放置在平穩(wěn)、無振動(dòng)、干燥、通風(fēng)良好的實(shí)驗(yàn)臺(tái)上,遠(yuǎn)離強(qiáng)磁場、粉塵和腐蝕性氣體。檢查電源電壓是否匹配(通常為220V),接地良好。
樣品準(zhǔn)備:根據(jù)樣品性質(zhì)進(jìn)行適當(dāng)處理。導(dǎo)電樣品(如金屬、半導(dǎo)體)可直接觀察;非導(dǎo)電樣品(如陶瓷、塑料、生物組織)需進(jìn)行噴金或碳鍍膜處理,防止電荷積累導(dǎo)致圖像失真。
工具準(zhǔn)備:準(zhǔn)備好導(dǎo)電膠帶、樣品臺(tái)、鑷子等輔助工具,確保清潔無污染。
二、開機(jī)與自檢
開啟電源:打開電鏡主機(jī)電源開關(guān),啟動(dòng)內(nèi)置真空泵和控制系統(tǒng)。
系統(tǒng)自檢:等待設(shè)備完成自檢程序,確認(rèn)無報(bào)警信息。部分型號會(huì)自動(dòng)進(jìn)行燈絲激活或參數(shù)校準(zhǔn)。
三、抽真空
放置樣品:打開樣品室艙門,將樣品用導(dǎo)電膠帶固定在樣品臺(tái)中央,確保牢固。
關(guān)閉艙門:確認(rèn)艙門密封良好,鎖緊到位。
啟動(dòng)抽真空:在控制軟件中點(diǎn)擊“抽真空”按鈕,系統(tǒng)將自動(dòng)抽至工作真空(通常5-10分鐘)。期間可通過真空表監(jiān)控壓力變化。
四、參數(shù)設(shè)置與聚焦
選擇模式:根據(jù)需求選擇成像模式(如二次電子成像SEI或背散射電子成像BSEI)。
設(shè)置參數(shù):調(diào)節(jié)加速電壓(一般5-20kV)、束流、工作距離(WD)等。初學(xué)者可使用自動(dòng)設(shè)置或預(yù)設(shè)模板。
電子束對中與聚焦:先使用低倍率(如500×)找到樣品區(qū)域,逐步放大。通過軟件自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)聚焦(Focus)和像散(Stigmation),直至圖像清晰銳利。
五、圖像采集與觀察
調(diào)整對比度與亮度:優(yōu)化圖像明暗層次,突出細(xì)節(jié)。
多區(qū)域掃描:移動(dòng)載物臺(tái),觀察不同區(qū)域,必要時(shí)進(jìn)行傾斜或旋轉(zhuǎn)(如有此功能)。
拍照與保存:在良好狀態(tài)下拍攝圖像,標(biāo)注放大倍數(shù)、電壓等參數(shù),保存至文件夾。
六、結(jié)束操作
放氣與取樣:觀察完成后,在軟件中點(diǎn)擊“放氣”按鈕,待壓力恢復(fù)至大氣壓后打開艙門,取出樣品。
關(guān)閉系統(tǒng):退出軟件,關(guān)閉主機(jī)電源。若長時(shí)間不用,可關(guān)閉總電源。